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　　目前，由沈陽芯源微電子設(shè)備有限公司(簡稱沈陽芯源)承擔(dān)的2012年度國家02科技重大專項(xiàng)“300mm晶圓勻膠顯影設(shè)備研發(fā)”項(xiàng)目順利通過驗(yàn)收，標(biāo)志著我國前道芯片制程領(lǐng)域用勻膠顯影設(shè)備在國產(chǎn)化進(jìn)程中又邁出了重要的一步，不僅打破了該類設(shè)備一直由國外生產(chǎn)廠商長期壟斷的局面，也填補(bǔ)了國內(nèi)該項(xiàng)技術(shù)空白，為我國前道芯片制程勻膠顯影設(shè)備進(jìn)入前段市場打開了突破口。
　　該項(xiàng)目的市場化、產(chǎn)業(yè)化，將為沈陽芯源帶來新的增長突破點(diǎn)，同時(shí)引領(lǐng)遼沈地區(qū)由傳統(tǒng)加工業(yè)進(jìn)入精密加工行業(yè)，帶動產(chǎn)業(yè)優(yōu)化升級，推動遼沈地區(qū)集成電路產(chǎn)業(yè)規(guī)?；⒓刍l(fā)展。
　　沈陽芯源成立于2002年，是由中科院沈陽自動化研究所發(fā)起創(chuàng)辦的國家重點(diǎn)高新技術(shù)企業(yè)，主要從事集成電路高端裝備的研發(fā)、制造、銷售與技術(shù)服務(wù)。集成電路高端裝備號稱行業(yè)的“印鈔機(jī)”，長期以來一直由國外企業(yè)一統(tǒng)天下。由于國外設(shè)備造價(jià)高、服務(wù)費(fèi)用高，使國內(nèi)客戶不堪重負(fù)。沈陽芯源的技術(shù)攻關(guān)也就是在這樣的大背景下展開的。
　　沈陽芯源，這個(gè)僅有200名員工的企業(yè)成功打破了國外產(chǎn)品在中國市場的壟斷。他們依靠與市場互動的科技研發(fā)機(jī)制，在消化吸收國外先進(jìn)技術(shù)基礎(chǔ)上，先后取得276項(xiàng)技術(shù)專利，自主研制的主導(dǎo)產(chǎn)品勻膠顯影設(shè)備廣泛應(yīng)用于LED、高端封裝等領(lǐng)域，勻膠顯影技術(shù)達(dá)到國際先進(jìn)水平，成功替代了進(jìn)口產(chǎn)品。
　　從做LED領(lǐng)域的半導(dǎo)體制造設(shè)備起步，僅用10多年的時(shí)間，沈陽芯源一步步突破IC裝備制造業(yè)細(xì)分領(lǐng)域國外壟斷：從第一個(gè)將國產(chǎn)設(shè)備推廣應(yīng)用于集成電路8英寸生產(chǎn)線，到研制出國產(chǎn)首臺12英寸凸點(diǎn)工藝勻膠產(chǎn)品，
　　再到打入臺灣地區(qū)市場的噴膠機(jī)、勻膠顯影設(shè)備。沈陽芯源實(shí)現(xiàn)集成電路設(shè)備核心部件國產(chǎn)化，也搶占了我國集成電路高端裝備研發(fā)制造的制高點(diǎn)。迄今為止，沈陽芯源承擔(dān)并完成了2項(xiàng)國家科技重大專項(xiàng)，獲得國家經(jīng)費(fèi)1.25億元，成果產(chǎn)業(yè)化勢頭良好。
　　沈陽芯源憑借著“技術(shù)創(chuàng)新緊貼市場”的理念，打造了集成創(chuàng)新模式，主導(dǎo)產(chǎn)品勻膠顯影設(shè)備在本技術(shù)領(lǐng)域居國內(nèi)第一，達(dá)到國際先進(jìn)水平。在LED勻膠顯影設(shè)備領(lǐng)域占領(lǐng)國內(nèi)市場份額超過50%，而且憑借低成本、高性能的優(yōu)勢銷往海外市場，穩(wěn)步成長為一家具有國際競爭力的半導(dǎo)體高端裝備及工藝解決方案提供商。
　?。ㄔd于《沈陽日報(bào)》 2016-04-22 A2版）